随着计算机技术的发展，低温转台，用户对真空系统自动化的要求不断提高。对于真空系统，自动控制主要是调整真空泵流量和真空值。真空值通常由调节真空泵流量、安装节流阀和减压阀控制。节流方法能量损失大，产生额外噪声，尽量直接调整真空泵转速。工业真空泵的调速方法有很多，主要分为两种：头种是电机转速不变，低温转台厂家，通过附加设备改变真空泵的转速，低温转台价格，如变速箱调速，第二种是直接改变电机的转速，如硅系列调速、变频调速等。目前，工业真空泵常用的方法是变频调速，节能效果好，低温转台价格，可实现无级调速、调速比大、调速准确、速度稳定。
真空电机望文生义是能够用在真空环境里的电机，一般真空环境是空气稀薄（一般没有必定真空的环境），该环境中没有热对流，只需热传导和辐射。所以电机在真空中散热比较困难。故该类电机必需要耐受高温，那么从设计阶段就要考虑各种资料、图层、润滑等。其他，运用环节还要求真空下的各配件要---较低的出气率，避免“污染”客户的真空环境，这一点也要从工艺上得到---。
真空开关是一种检测真空度范围的开关，又称真空继电器。其作用是：当实际工作中所产生的真空度达到规定要求时，自动开闭控制电路，发出电信号，指令真空吸附机构正常动作。它属于---性、安全性元件。真空开关分为机械式、半导体式和气桥式三种类型。机械式真空开关是利用机械变位来确定真空压力的变化，如膜片式真空开关。半导体式真空开关是利用半导体压力传感器来检测真空压力的变化，并能够将检测到的压力信号直接转换成电气信号。
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