一种光学平板测微器，其特征在于，包括壳体以及设置在壳体上的平晶玻璃、齿轮、齿杆、平板标尺、固定装置，所述平晶玻璃安装在壳体内的一侧，所述平晶玻璃通过齿杆与所述平板标尺固定连接，所述齿轮与齿杆连接，压电主动隔振价格，所述齿杆在所述齿轮的驱动下，压电主动隔振，带动所述平晶玻璃和平板标尺分别发生偏转和移动。在水准测量、变形和沉降观测、精密机械测量和大型设备的水平定位、安装中，需要使用水准仪，而平板测微器是水准仪的一种光学测量附件。
随着---、---规模集成电路制造技术的发展，由于大批量半导体硅片加工的需要，光学平板价格，国外出现了双面高速加工机床，压电主动隔振厂家，适用于半导体硅片的双面研磨和抛光，压电主动隔振厂家，进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。光学平板通常作为分光镜或窗口等透过型元件或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面。表面经---化发黑处理，既美观，也适合光路搭建的环境。
气垫式隔振支架是利用气垫的原理，将光学平台架在气垫上以达到隔振的效果。特点是:隔振效果好。但是造价较高，使用和维护繁琐。针对维护繁琐的情况又出现了自平衡(主动隔振)系统。原理是利用各种传感器提供的平台平衡状况，通过控制系统调节各个隔振支撑的气压来达到平衡的目的。光学平台的重要的两个参数是平台本身的平面度与隔振性能。
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